磁控溅射中靶中毒除了减少反应气体是不是可以增加氩气流量来避免中毒现象.

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/13 02:50:28
磁控溅射中靶中毒除了减少反应气体是不是可以增加氩气流量来避免中毒现象.

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磁控溅射中靶中毒除了减少反应气体是不是可以增加氩气流量来避免中毒现象.

磁控溅射中靶中毒除了减少反应气体是不是可以增加氩气流量来避免中毒现象.
为了减轻靶中毒现象,技术人员常用以下方法解决:(1)将反应气体和溅射气体分别送到基片和靶附近,以形成压强梯度;(2)提高排气速率;(3)气体脉冲导入;(4)等离子体监视等.

行不通,你的靶电源不够大乙炔就给的不要太快 很容易中毒的

看你的工艺吧, 氩氮是有比例的。
靶中毒,用加大氩气的流量这种方法意义不大,

磁控溅射中靶中毒除了减少反应气体是不是可以增加氩气流量来避免中毒现象. 磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么? 磁控溅射法有哪些种类?反应磁控溅射法是不是分为直流磁控溅射法和交流磁控溅射法还有射频磁控溅射 非平衡磁控溅射 杂质去反应 除了原来的试剂 水 气体 是不是其他都是杂质吖 磁控溅射镀膜 膜面放电问题您好,请教您一下,膜面放电原因及防治措施.和气体比例有关系吗?用脉冲电源也不行.很是着急!靶材清理得干净无中毒现象.做磨过边得没有,镀原片就有.打磨后会 真空磁控溅射ITO的最佳靶基距,硅靶中频反应溅射SIO2的最佳靶基距. 反应中无气体,平衡常数是不是等于1? 什么是反应磁控溅射的迟滞效应? 除了水油,还有哪些物质会导致制氮碳分子筛中毒,比如说有机物、酸性气体等! 酸是不是可和一切物质反应,只要生成水或沉淀或气体 气体中毒如何处理 气体中毒及解决办法 除了郁金香之外,还有哪种花会散发对人体有害的气体的,可看不可嗅闻的?(特指气味毒,与饮食中毒无关)如果能够说明具体是什么样的有毒物质就更好了 化学反应中怎么判断减少的质量是气体还是反应的固体.. 一定温度下密闭容器中,一定量的氨气和氯化氢气体进行反应,一段时间后,氨气和氯化氢的浓度减少,氨气和氯化氢气体中的活化分子的百分比是不是也要减少?我是这样理解的:氨气和氯化氢 氮气在呼吸中没有参与化学反应,可呼出的气体中它的体积减少了,问什么? 真空镀膜中用磁控溅射可以镀出彩色的吗?用什么样的气体?用什么样的靶材?是不是一种产品只能镀单一的色彩?要是能镀出来的话,是不是可以把一种产品镀成七彩的,说详细的加多分! 在实验中制取氰化氢气体,怎样防止中毒而又能收集到较纯气体