怎样提高光栅传感器分辨率

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/04/29 05:34:52

怎样提高光栅传感器分辨率
怎样提高光栅传感器分辨率

怎样提高光栅传感器分辨率
两种方法：
利用电子细分,比如对20微米栅距的光栅尺进行200倍细分可得到0.1微米分辨率的光栅尺.但条件是光栅信号要足够的好,也就是示波器上显示的李赛圆要很圆.
另一种办法是减小栅距,比如将栅距减小到10微米,再进行200倍细分得到的便是0.05微米的分辨率.对于透射光栅,栅距减小则意味着衍射现象过重,信号质量变差.20微米栅距,正好是一个临界点.所以,一般对小于20微米的栅距,利用的是光的干涉方法而不采用透射方法.目前国内厂商,暂且还没有这项技术能够利用光的干涉方法来做光栅尺.

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